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    • 所属分类:磁控与离子束复合
    • 浏览次数:
    • 发布日期:2022-09-25 15:37:37
    • 产品概述
    • 性能特点
    • 技术参数

    设备用途:

    磁控与离子束复合系统用于纳米级单层及多层功能膜、 硬质膜、 金属膜、 半导体膜、 介质膜、 铁磁膜和磁性薄膜等的制备。 可广泛应用于半导体、 微电子及新材料领域。

    设备组成:

    系统主要由溅射真空室、 磁控溅射靶、 基片水冷加热公转台、 Kaufman 离子枪、 四工位转靶、 工作气路、 抽气系统、 真空测量、 电控系统及安装机台等部分组成。

    技术指标:

    极限真空度:≤6.67×10-5 Pa (经烘烤除气后);

    系统真空检漏漏率:≤5.0×10-7 Pa.l/S;停机12小时≤5Pa.

    系统短时间暴露大气并充干燥氮气后,再开始抽气,45分钟可达到6.67×10-4Pa;

    系统主要由蒸发真空室、E型电子枪、热蒸发电极、旋转基片加热台、工作气路、抽气系统、真空测量、安装机台及电控系统等部分组成。

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